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PSS的普及使等離子設(shè)備需求擴大
來源()  作者()  閱讀()   時間(2013/7/31 10:14:07)

  預(yù)計到2018年,LED用半導(dǎo)體材料的面積將增加到2012年的4倍,收益也將達到170億美元的頂峰。因為單個LED發(fā)出的光量大幅增加,所以需要的LED數(shù)量減少。與現(xiàn)在的技術(shù)相比,LED的產(chǎn)品壽命大幅延長,無需1年更換一兩次燈泡,10年更換1次即可。這將使得更換用LED的市場大幅并且永久性地減速。

  在2011年之前投資過度

  在今后5年多的時間里,LED的生產(chǎn)還將繼續(xù)擴大,那么,為何生產(chǎn)設(shè)備市場卻已經(jīng)觸頂反彈?這是因為2010年和2011年出現(xiàn)了大規(guī)模的過度投資。其主要原因在于中國政府向MOCVD設(shè)備發(fā)放補貼,企業(yè)為確保市場地位拼盡全力進行投資。截至2010年,只有幾家中國企業(yè)涉足LED生產(chǎn)設(shè)備領(lǐng)域,但如今已經(jīng)增加到了70家。但多數(shù)企業(yè)恐怕都是曇花一現(xiàn),而生存下來的企業(yè)估計也不會購買新設(shè)備,而是通過收購失敗的企業(yè)增加產(chǎn)能。

  在過去,LED行業(yè)一直是按照LED的要求,對標準的曝光設(shè)備和蝕刻設(shè)備略做改造,在進行調(diào)整、重新安裝后加以使用。2009年,在曾為不同工藝使用相同設(shè)備的LED企業(yè)的協(xié)助下,生產(chǎn)LED的專業(yè)設(shè)備閃亮登場。令人感興趣的是,老牌的半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)并沒有涉足這一市場。在購買生產(chǎn)設(shè)備時,為了降低設(shè)備占用成本(COO),一部分企業(yè)投資的是可靠性、均一性俱佳的高性能設(shè)備。而另一方面,也有企業(yè)打算減少設(shè)備投資額,通過購買最便宜的設(shè)備,使制造成本最小化。但從現(xiàn)在來看,多數(shù)企業(yè)(包括大多數(shù)中國企業(yè))都已經(jīng)開始選擇前者。

  PSS的普及使等離子設(shè)備需求擴大

  其他設(shè)備的市場與供求存在差異的MOCVD設(shè)備市場一樣,2012年的銷售額低于2010年和2011年。不過,引領(lǐng)LED設(shè)計的技術(shù)變化的領(lǐng)域卻呈現(xiàn)出了不同的趨勢。使用圖形化藍寶石基板(PSS: Patterned Sapphire Substrate)可以提高亮度。僅一年多時間,PSS已經(jīng)占到了全世界LED用藍寶石基板的近80%,催生出了對于蝕刻PSS晶圓的等離子設(shè)備的需求,F(xiàn)在,已經(jīng)投入使用的用于制造PSS的干法刻蝕設(shè)備約有280臺,其中有200臺是在2011年或2012年安裝的。2012年估計也將維持在這個水平。

  目前,提高PSS產(chǎn)能的企業(yè)有三種。第一種是藍寶石基板生產(chǎn)商;第二種是購買標準晶圓,自行PSS化的LED生產(chǎn)商;第三種是購買基板,形成圖案后銷售的專業(yè)PSS代工商。

  等離子蝕刻是在基板上確定圖案后對光刻膠層進行處理,因此催生出了掩模定位使用的工具和步進機的需求。但掩模定位用工具很難達到PSS要求的分辨率,步進機的分辨率雖然可以滿足要求,但在不造成斷裂或裂縫的前提下刻畫晶圓大小的圖案時會出現(xiàn)問題。以50mm晶圓為例,PSS制造的成品率通常為80~93%,但對于100mm晶圓,成品率僅為40~70%。在今后的6個月之內(nèi),包括“納米壓印轉(zhuǎn)印”在內(nèi),各種商用解決方案的出現(xiàn)估計將會提高大口徑晶圓的成品。

作者:佚名 來源:廣告網(wǎng)

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